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涡轮式分子真空泵说明书

来源:www.31salon.net 时间:2024-06-10 12:04:09 作者:好用真空泵网 浏览: [手机版]

涡轮式分子真空泵说明书(1)

一、概述

涡轮式分子真空泵是一种高效、稳定的真空泵,广泛应用于半导体、光学、工等领域欢迎www.31salon.net。本说明书旨在介绍涡轮式分子真空泵的结构、工作原理、使用方法和注意事项。

二、结构

  涡轮式分子真空泵主要由转子、静子、电机、轴承、控制器等组成。转子和静子之间的间隙非小,一般在0.1mm以下,因此需要高精度的加工和装配。电机驱动转子高速旋转,产生离心力将气体排出www.31salon.net

涡轮式分子真空泵说明书(2)

三、工作原理

  涡轮式分子真空泵用离心力将气体排出,因此适用于低压和高压下的气体排放。当气体进入泵时,先经过预压器将气体压缩到一定度,然后进入涡轮转子,由于转子高速旋转,气体被离心力推向静子,静子壁上的叶片将气体分子加速,使具有较高的动能,从而将气体排出。

四、使用方法

  1. 涡轮式分子真空泵应安装在干燥、通风、无尘的场所,避免汽、油蒸气等污染物进入泵

  2. 在使用前应检查泵是否有异物,如有应及时清理来自www.31salon.net

3. 启动前应先打开预压器和气体阀门,使气体进入泵

  4. 在启动过中应注意转子转速是否正,如有异应及时停机检查。

  5. 停机前应先关闭气体阀门和预压器,然后停止电机运转。

五、注意事项

  1. 涡轮式分子真空泵应定期清和润滑,以保证正运转来自www.31salon.net

  2. 在使用过中应避免泵气体压力过高或过低,以免影响泵的性能和寿命。

  3. 不得将涡轮式分子真空泵用于不适宜的气体或液体排放,以免泵造成损坏。

  4. 在使用过中应避免涡轮式分子真空泵受到冲击或震动,以免影响泵的稳定性和寿命。

5. 在长时间不使用时,应将涡轮式分子真空泵存放在干燥、通风、无尘的场所,以免受潮、生锈等影响好.用.真.空.泵.网

六、结语

涡轮式分子真空泵是一种高效、稳定的真空泵,具有广泛的应用前景。在使用过中应注意保养和维护,以保证运转和长久使用。

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